二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Etch chamber for MxP #9222737 待售

ID: 9222737
晶圆大小: 6"
6" Chamber rack included.
用于MxP的AMAT(应用材料)AMAT/应用材料蚀刻室是一种用于材料加工中蚀刻应用的高性能反应器。该设备能够产生精密的蚀刻和高质量的图样,具有极好的精度和可重复性。它具有许多先进的技术特点,使其成为广泛材料加工的理想选择。MxP的AMAT蚀刻室是一种双室热壁蚀刻系统。这种设计包括两个独立的工艺室,可以同时处理不同类型的材料。它配备了现代化、高度均匀、低能量的离子束源,能够对各种材料进行精确的蚀刻。该装置设计成即使在高吞吐量下也能产生一致的蚀刻结果。用于MxP的应用材料蚀刻室具有先进的多频离子光学瞄准能力,可提供精确的蚀刻深度和厚度。它具有高度先进的故障管理和故障诊断功能,旨在确保最大程度的可靠性和正常运行时间。该机还提供先进的温度控制,以确保最佳的蚀刻性能,并设有一个隔离的工艺室,以尽量减少大气气体的污染。用于MxP的蚀刻室提供了许多旨在最大限度地提高生产效率的附加功能。它包括一个用于装载和卸载基板的集成负载端口,以及一个用于交换基板的真空辅助晶片盒传输装置。它还具有集成的计量和反馈模式,旨在提供过程参数的自动反馈,并帮助确保高质量的蚀刻。用于MxP的AMAT/APPLIED MATERIALS蚀刻室设计为易于集成到其他材料处理环境中。它提供了一系列连接接口,并且与各种行业标准的材料处理软件兼容。该工具的设计是由一个操作员操作,使操作方便和高效。用于MxP的AMAT蚀刻室是一种先进的高性能蚀刻资产,旨在满足现代材料加工应用的需求。该模型具有最先进的离子束源、先进的故障管理和故障诊断能力,以及集成的计量和反馈模式,可提供精密蚀刻,具有出色的重复性和强大的性能。
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