二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Frame for P5000 #9221729 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS for P5000框架是一种高性能、双室标量等离子体增强化学气相沉积（PECVD）反应器。它旨在实现多种材料的高通量沉积。该反应器适用于涂料、薄膜、硅片加工等多种应用。AMAT P5000框架由铝制底座上的不锈钢圆柱体构成。该圆柱体分为两个反作用室：上室用于沉积材料，下室用于蚀刻过程。腔室设有高效涡轮分子泵，用于精确控制压力和工艺气流。上腔有变频源，产生电力驱动过程。腔室还有一个大功率气箱，提供对工艺气体的精确控制。APPLIED MATERIALS Frame for P5000提供多种安全功能,包括超压保护、热监控和互锁系统。它还有一个集成的高效过滤系统，确保清洁的操作条件。该室还提供各种功能，以最大限度地提高工艺产量，包括自动瓶程序，自动工艺控制调整，以及用于熄灭节流的程序。P5000框架旨在实现各种材料的一致、高效沉积。它还能够在高温下处理工艺气体，在保持统一工艺参数的同时实现高通量。这种反应器是制造半导体材料的薄膜的理想选择，例如硅、砷化氙和氮化铝。也适用于沉积氧化物、氮化物、多晶硅膜。总之，AMAT/APPLIED MATERIALS Frame for P5000是一种高性能、双室标量等离子体增强化学气相沉积（PECVD）反应器，适合多种应用。它提供了一系列功能以最大限度地提高工艺产量,以及各种保护和清洁操作条件的安全功能。该腔室能够在高温下处理工艺气体，在保持统一工艺参数的同时实现高通量率。这使得它非常适合于制造半导体材料的薄膜，如硅、砷化铵和氮化铝。