二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Frame for P5000 #9235976 待售

ID: 9235976
With (3) COD chamber bodies.
AMAT/APPLIED MATERIALS Frame for P5000是一种基于沉积的真空处理反应器,用于生产复杂的薄膜产品。该P5000专为高吞吐量、经济高效的生产而设计,并提供多种工艺功能。它非常适合强大、复杂的工艺需求,并配有独特的双工艺室,能够同时进行沉积和蚀刻加工。该P5000利用一个通用的5x500 mm晶圆平台来处理300 mm以下的基板。它具有低成本颗粒工程和基板表面分析的能力,同时仍符合高生产率标准。此外,P5000的双腔室设计为用户提供了同时独立处理两种不同基板的能力,或者可用于在过程中的不同点对同一基板进行双过程操作。这为研发和生产级别的客户提供了极大的灵活性。P5000的先进材料设备包括一台高端涡轮分子泵作为主要泵送解决方桉,能够增加二次背衬泵以提高吞吐量,减少工艺时间。框架还配置了一个可编程气体面板,使用户能够快速、轻松地即时调整流程参数。此外,该系统还提供Tech/NoTech沉积和分析系统,提供出色的诊断和实时过程控制。该P5000配备了广泛的功能,旨在提供可靠、低周期和卓越的质量控制,包括自动晶圆传输单元、实时过程优化以及计算机控制的维护协议。该机器还能够在高温和低温环境中运行,允许用户根据特定要求定制过程。总体而言,AMAT Frame for P5000是一种先进的反应堆,设计用于复杂薄膜产品的高通量和低成本生产。它具有独特的双室设计,为用户提供了极大的多功能性和同时独立处理两种不同基板的能力。该P5000提供了前沿的材料工具和全面的特性和功能,使其成为工业应用程序和研发客户的理想解决方桉。
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