二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Frame for P5000 #9235980 待售
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AMAT P5000 Frame是一种先进的蚀刻反应器,非常适合半导体加工.它是一个半封闭的框架反应器，意味着反应室、涡轮泵、离子源等设备的所有主要部件都包含在框架内。该P5000旨在提供高吞吐量、低拥有成本和强大的工艺气体管理功能。P5000机架配备了多项高级功能,可实现最佳性能。其中包括一个集成真空系统，该系统控制和维持反应室内的压力，以确保蚀刻过程保持在一定范围内。此外，P5000包含综合阀门的综合单元，以精确控制蚀刻过程，包括工艺气体管理、压力均衡化和净化循环。P5000框架还具有ATP控制机，能够自动调整蚀刻过程，并最大限度地减少蚀刻参数的误差。一个可选的源清洁剂可帮助保持腔室和涡轮泵组件的清洁，而P5000是在运行。除了高级功能外,P5000框架还提供多种安全功能。它被设计为在洁净的房间环境中运作，因为它在从反应室中去除颗粒方面效率很高。该P5000还包含压力感应阀，在超压情况下自动切断工艺气体的流动。此外，该P5000设计用于检测真空级别的变化，并在达到所需真空时自动关闭蚀刻过程。总体而言,应用材料P5000框架是硅器件制造的理想蚀刻反应器.它提供了出色的蚀刻效果、卓越的工艺控制和强大的安全功能,使其成为那些寻求可靠、经济高效的蚀刻工具的人的理想解决方桉。
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