二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Frame for P5000 #9235981 待售

AMAT P5000反应器是一种用于化学和物理气相沉积的框架，是为精密控制涂层应用而优化的通用设备。它能够实现精确的温度和压力控制轮廓，非常适合光伏和汽车电子金属化、厚膜金属化、退火扩散、外延、蚀刻和溅射等应用。框架本身由一个由不锈钢框架支撑的圆形石英外壳组成。这允许顶部和底部进入内部空腔,从而创建高效且节省空间的设计。此外，真空泵和气体歧管位于外壳外，以确保腔内可靠和受控的加工条件。内腔内衬氮化硼耐火砖，可实现可靠一致的热均匀性。这种坚固的隔热材料在磁控管溅射和反应性蚀刻等离子体操作中尤为重要。此外，框架提供了一个最佳的稳定平台，在最大的工作条件下保持空腔的密封完整性。气体入口歧管设计方便，并通过柔性软管连接到腔室底部。进入的气体在外部溷合块中预先溷合，然后用适当的溷合物直接送入腔室。可调压力包括一个气体控制阀和一个可以从面板监测的压力测量表。应用材料P5000框架的温度控制利用热壁式灯丝加热器进行有效、精确的热分布。这款加热器由环绕内腔的圆形灯丝组成，通过电流调节器进行控制以达到所需温度。该室还配备了多个热电偶，可提供实时温度反馈。AMAT/APPLIED MATERIALS P5000框架具有卓越的精度和精确度，是满足沉积应用需求的理想选择。其强大的设计和可调节的设置允许安全和一致的操作,确保可靠的性能和过程可重复性。