二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Front-End Metallization for Endura II #293672286 待售

AKT/Aktell Endura II前端金属化反应堆是一种最先进的反应堆，为集成电路（IC）制造提供了一种高效、经济高效的方法。Endura II提供高产量和宽广的工艺窗口,使设备制造商能够达到最佳生产率。所有组件的设计都满足了与领先的IC流程节点和控制技术兼容的严格要求。前端金属化反应堆利用坚固的物理气相沉积设计原理，提供铝、钨等材料的纤薄均匀层。该过程从预沉积清洁开始，以去除底物中的任何有机残留物，并准备用于薄膜的沉积。沉积过程中，超高纯度金属前体在载气中迅速蒸发，并允许凝结在基板上形成薄膜层。该系统与高性能真空系统集成，允许竞争周期时间和准确性。传感器反馈提高了流程性能,并帮助其他系统满足50 nm以下流程的要求。过程控制包括闭环操作，以改进过程控制和产量。持续监测温度、压力和灵敏度。Endura II专为各种基材的精确、快速加工而设计。它一次最多可容纳六个基板，处理直径从12mm到300 mm的基板。最高温度为650°C，最高转速为600 RPM，可以在短时间内达到高精度结果。此外，Endura II支持多种工艺气体，使各种沉积配方成为可能。AMAT/Aktell Endura II前端金属化反应堆是一种可靠且经济高效的工具,适用于需要高效解决方桉来生产IC的制造商。凭借其多才多艺的设计，它可以处理广泛的基材和加工材料。高性能处理能力和过程控制可帮助制造商取得最佳效果并满足具有挑战性的设备节点的需求。Endura II凭借其处理纤薄均匀层的能力，是一款强大的集成电路生产工具。