二手 AMAT / APPLIED MATERIALS IMP #9005263 待售

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ID: 9005263
Chamber full kit Chamber (Include widebody Component) 2Mhz IMP Matcher (0.015), 13.56Mhz Bias Matcher 3Pos Gate valve , Cryo Pump 3Phase B101 Heater , Shutter Linkage Magnet 0010-21676.
AMAT/APPLIED MATERIALS IMP是一种反应堆,设计用于利用高能等离子体在高温和高压下处理材料。该反应堆主要用于蚀刻、沉积和制造纳米颗粒,用于各种用途。反应堆有一个电磁绝缘室,在其中产生和产生等离子体。正在加工的材料暴露于使用射频(RF)功率或直流电(DC)产生的高能等离子体中。这创造了一个低压的高温环境,符合特定的工艺要求。反应堆由两个主要部件组成;一个过程室和一个射频发电机,两者都用电极网格结构分开。栅格用于控制腔内的栅格电磁场,以保持能量分布的均匀性。腔壁的设计也考虑到产品,提供了极好的抵抗化学攻击。此外,隔热室还减少了辐射和导热传递给周围环境造成的能量损失。AMAT IMP反应堆能够在室内提供接近大气的压力,从而能够对材料的加工进行精确的温度和压力控制。对室内能量输入和均匀分布的精确控制,使得敏感材料的结果是一致的。等离子体也有能力精确控制正在加工的材料的反应性以及必要时不同材料之间的选择性。由于能够提供广泛的工艺能力,反应堆在许多行业中有着广泛的应用。这些包括制造半导体、生产光学涂层、生产医疗植入物和医疗假体以及生产半导体器件。总体而言,APPLIED MATERIALS IMP反应器为处理具有高能等离子体的材料提供了一种通用的解决方桉。该反应堆具有在室内提供精确温度和压力控制的能力,是创造各行业所需的高质量成果的宝贵工具。
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