二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Loadlock chamber for P5000 #293658099 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Loadlock chamber for P5000是一种多功能、高性能的反应器,设计用于各种晶圆加工和外延应用。其涡扇设计使得它既适合大晶圆，也适合小规模的工艺操作。它能够达到高达1000 °C的温度，并具有为改善温度均匀性而设计的厚膜加热技术。该设备适用于超高真空或低压应用。射频微波源安装在可移动平台上，以实现最佳定位。AMAT Loadlock腔室为基材制备要求提供了一种高效、经济高效的解决方桉。它是为非惰性气体应用而设计的，允许对气体环境和压力进行最佳控制。P5000室设有一个多区域线性级（配备三（3）个Eurorack线性执行器,用于基板或目标位置的独立运动）以及一个软件接口,用于精确控制所有工艺参数。腔室还提供了一个额外的定位器，用于旋转基板，以保持它们在加工区域。应用材料P5000 Loadlock腔室有许多有用的特性和附件，如用于热1/4英尺测量的传感器条、有源电子束沉积单元、紫外线辐射源和离子束溅射偏转器。该系统还包括一个负载锁式传递室、一个多轴分离密封器和一个法拉第屏蔽，用于精确的晶圆曝光。此外，该腔室可与各种先进的诊断工具集成在一起，如活细胞成像单元、光发射光谱仪或拉曼光谱仪，以及3D剖面仪。这台机器能够支撑各种各样的基材尺寸和厚度.它配备了超高精度的运动控制电子设备，能够存储多达25个手动参数，便于设置和校准工作参数。AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Loadlock腔室为任何类型的基材制备提供了可靠、精确和可重复的工艺操作。