二手 AMAT / APPLIED MATERIALS MESA G5 #9358633 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS MESA G5是一种反应堆，为希望在生产线中增加先进材料加工能力的客户提供经济高效的解决方桉。它将等离子体沉积和蚀刻功能与退火和原子层沉积（ALD）技术相结合，为客户提供强大的集成设备。AMAT MESA G5是一种微场蚀刻退火系统，设计用作小几何电路的全工具。该单元由桥式真空室、先进等离子体沉积和蚀刻袋以及专用退火室组成。桥式真空室进行蚀刻过程，以创造接近原子精度的结构，而退火过程则允许结晶材料以精确的结构形成。Advanced Plasma Deposition and Etching （APD-E） pockets enable a range of deposition and pattaining processes.APPLIED MATERIALS MESA G5还具有可变电源，提供了在不同功率级别运行的灵活性。模块化设计允许自定义配置以满足用户的特定需求。其占地面积小、集成的自动化维护程序也使其成为生产线高效、节省空间的解决方桉。MESA G5配备了多种安全功能，以保证其用户和周边环境的保护。它具有互锁的屏蔽以保持真空的完整性，闭环控制以调整工艺参数，惰性大气保护以防止污染。它还有一个气体控制机，用于监测和调节现有气体的流动，以及用于室内均匀加热和冷却的加热器控制系统。除了所有这些特性外，AMAT/APPLIED MATERIALS MESA G5还因其低耗散的"干式"腔室设计而高效，防止水凝结及其相关的污染和腐蚀。该工具还易于操作,以确保最大正常运行时间和可靠的长期性能。凭借其可靠的性能、先进的功能和安全功能,AMAT MESA G5为客户提供了专注于生产需求的安心。