二手 AMAT / APPLIED MATERIALS / MOORE 7700 Series #9265323 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS / MOORE 7700 Series
ID: 9265323
晶圆大小: 6"
优质的: 1995
EPI Reactor, 6" 1995 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/MOORE 7700系列反应堆是半导体工业中常用的一种工艺工具。它是一种垂直炉设备,设计用于处理各种尺寸的晶片,具有无与伦比的温度均匀性、增强的晶片吞吐量和灵活性。AMAT 7700系列具有可调节的平台高度,允许操作员根据其工艺要求调整炉子。其温度范围高达1600 °C,温度均匀性极佳,允许整个腔室的温度精确一致。此外,无论使用哪种配方,此系统都具有很高的可重复性,从而实现了良好的整体流程一致性。7850功能集在工程、设计和功能方面的卓越表现赢得了AMAT年度Fabtech产品奖。该单元采用快速热循环(RTC)技术,将晶片的处理时间从偶数小时缩短至几分钟,从而实现更大的吞吐量。此外,这台机器具有灵活性,允许操作员调整晶圆尺寸,兼容晶圆尺寸从1英寸到12英寸不等。MOORE 7700系列的腔室采用不锈钢结构,腔室的墙壁和天花板采用创新的陶瓷保温材料,以确保操作时保持温度。这种良好的腔室绝缘有助于保持刀具在运行过程中运行更冷,同时也减少了不必要的能源消耗。该机采用热气和冷气反应器技术相结合,使晶片上的热流正常。7850系列还采用模块化的盒式到盒式加载技术,允许快速、方便地加载和卸载批量的晶片。工具传感器能够精确监测设计过程,以便在要求苛刻的过程中提供一致和可重复的性能。简言之,APPLIED MATERIALS 7700系列反应堆是一种用于高级工艺的高性能工具。它提供了出色的热均匀性和可重复性,以及灵活的晶圆尺寸和快速的热循环,有助于减少整体生产时间。这种模块化的盒式到盒式加载技术和腔室绝缘技术进一步提高了它的整体效率和有效性。
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