二手 AMAT / APPLIED MATERIALS MxP+ Oxide chamber for Centura #293656085 待售

AMAT（应用材料）AMAT/APPLIED MATERIALS MxP+Oxide camber for Centura是半导体技术中的关键设备。该反应器用于半导体制造中各种氧化物和氮化物的高精度沉积。它的设计具有很高的吞吐量和最大的可靠性,以便在生产中产生一致的结果。MxP+氧化室由一个由不锈钢制成的外壳组成，容纳沉积过程。此过程使用PECVD控制器进行管理,以确保正确的沉积条件。在反应堆内部放置石英管以固定目标材料进行氧化。这是结合气体输送系统进行的，以沉积所需的材料。这可以从硅酸钨到掺磷氧化物。MxP+氧化室是为高长宽比特性而设计的，由自己的冷却系统进行冷却。它有两点温度控制，也提供-60°C至400°C的温度范围。反应器也有真空泵，以保证更好的沉积。为了进一步保证沉积的一致性，MxP+氧化物室配备了一个残留气体分析仪，检查是否存在气体。运行压力由离子计监控，并由涡轮分子泵控制。MxP+氧化物室使用预测软件运行，该软件利用过程建模力学使反应堆在生产过程中得到更好的控制。此软件不断更新,以保持在市场需求的领先地位。AMAT MxP+Centura的氧化室是半导体工业中材料沉积成功的重要组成部分。该反应堆的设计不仅提高了吞吐量，还提供了可靠的结果。通过优化压力、温度和残留气体浓度，MxP+氧化室能够提供半导体工业所需的精确沉积。