二手 AMAT / APPLIED MATERIALS MxP+ #293749250 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS MxP（AMAT MxP）是为精密工艺应用而设计的反应堆。它具有独特的设计,可实现对各种流程应用程序的高度性能、灵活性和控制。它是一个微观模式和处理系统，提供无与伦比的精度，速度和过程可重复性。APPLICED MATERIALS MxP反应器是为半导体晶体薄膜沉积和开发过程而设计的一种创新、高效、功能丰富的系统。它能够精确地进行复杂的等离子体蚀刻和沉积过程，使MxP成为先进的电子设备制造的理想选择。AMAT/APPLICED MATERIALS MxP配备了最新的过程控制系统和高达4.7立方米的大腔室体积。它具有0.05°C的极好的基温均匀性，过程压力为0.3-6.8 mTorr。还配备了先进的气体输送系统、流量控制系统和先进的物料处理能力。AMAT MxP采用了一系列沉积工艺来生产具有所需成分的薄膜。这包括等离子体增强化学气相沉积（PECVD）、原子层沉积（ALD）、有机分子束沉积（OMBD）、溅射和低压化学气相沉积（LPCVD）。APPLICED MATERIALS MxP也使用干蚀刻、湿蚀刻、离子蚀刻和离子铣削等蚀刻工艺。MxP具有很高的可靠性和有效性，能够以最高的精度和可重复性执行连续和批处理过程。它配备了先进的APM控制器和集成软件来优化和监控工艺配方、腔室参数和其他关键性能指标。AMAT/APPLIED MATERIALS MxP还提供关键的温度和压力反馈,以提高工艺性能。总而言之，AMAT MxP反应堆是任何先进的半导体器件制造设施的绝佳补充，需要高精度和过程控制。它是一个功能丰富的系统，能够快速、经济、高可重复性和准确性地执行复杂的沉积和蚀刻过程。