二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Olympia #293665016 待售

AMAT/APPLIED MATERIALYLOMPIA（AMAT Olympia）是一种增强型等离子体增强化学气相沉积（PECVD）反应器，设计用于薄膜涂层和材料的工业沉积。应用材料奥林匹亚反应堆采用一种创新的感应耦合沉积工艺，使材料能够单步沉积到表面上。此过程能够实现高质量和可重复性。奥林匹亚以圆柱形真空室为特色，高密度等离子体源位于底部。等离子体源利用气体压力、热量和电压的组合产生等离子体，使反应物扩散和反应。反应物通过气流输送到底物，然后与来自等离子体的反应物质溷合。腔室设计包括用于复杂多层涂层的三面窗，以及用于侧壁蚀刻和薄膜快速重新沉积的多个侧面和后部密封口。此特性允许腔室在一个循环中进行多个过程，如蚀刻、沉积和氧化。室底还装有电磁线圈，用于电感耦合沉积。AMAT/APPLIED MATERIALYOLMPIA反应堆拥有集成的自动化和过程控制设备，使操作员能够为各种材料定制和设置过程参数。这些参数包括但不限于压力、温度、射频功率、气体成分和工艺持续时间。AMAT奥林匹亚反应堆还配备了强大的分析诊断和监测系统。这包括一个气体分析仪、质谱仪、四极质量过滤器以及一个先进的压力控制和诊断单元，允许用户监控各种工艺条件。这使操作员能够优化产量和吞吐量,并确保产品的可靠性和一致的质量。此外，先进的计算机控制软件为用户提供了分析和记录数据以进行分析和反馈的能力。因此，用户可以持续监控和优化流程参数，并对流程进行故障排除和改进。APPLICED MATERIALYOLMPIA的设计非常可靠,能够最大程度地减少停机时间。它的模块化设计和可扩展的数字体系结构允许进行直接的配置更改,从而增加灵活性并快速启动生产。总而言之，奥林匹亚是一种先进、可靠、灵活的薄膜涂层和材料工业沉积工具。它可以可靠地制造各种元件，从微电子装置到结构材料，具有很高的可重复性和准确性。此外，其工艺控制机和诊断工具使其成为质量和生产力优化的理想选择。