二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Olympia #9293600 待售

AMAT/APPLIED MATERIALYOLMPIA是一种前沿反应器,设计用于在IC制造和半导体应用中沉积薄膜。它基于称为原子层沉积技术（ALD）的AMAT专有核心应用引擎。AMAT Olympia反应堆由两个同心反应堆组成，这些反应堆由一个垂直气相体积连接，该体积包含一个专利的旋转四针喷嘴。每个反应堆占据气相体积的四分之一，而四销喷嘴则在整个基板表面提供均匀的沉积速率和均匀性，以及高效的气相分布。应用材料奥林匹亚反应堆能够沉积多种材料，包括金属氧化物、硫、氮、氯、硼和其他高介电材料。均匀的沉积速率和均匀性旨在确保每个应用程序都具有可重现的过程。旋转的四针喷嘴允许对沉积过程进行精确控制，可调节参数包括喷嘴角度、喷嘴速度、气相浓度和清扫速率。反应堆的自动气体压力监测进一步加强了对沉积的精确控制。这有助于确保取得最一致的结果。奥林匹亚反应堆还具有先进的自动热管理功能。这种特性可以精确控制基板加热过程，确保可预测的沉积。自动热管理有助于减少缺陷以及沉积过程中热损坏的可能性。AMAT/APPLICED MATERIALYOLMPIA反应堆装有集成的气体-散装输送系统，利用高压氮气提供优越的生长控制。高压氮确保了稳定的沉积速率，对于需要更高精度结果的应用至关重要。反应堆还提供自动定心能力，使基板更容易居中，减少错位造成损坏的可能性。AMAT奥林匹亚反应堆是一种用途广泛的沉积系统，用于工业、研究和其他应用。其可靠性和可重复性使其成为可重复、长期沉积过程的绝佳选择。其先进的热处理确保了精确的温度控制，确保了可预测的沉积速率和均匀性。先进的散气输送系统确保了气相浓度的一致，为各种材料的沉积过程提供了极好的控制。