二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Olympia #9294421 待售

ID: 9294421
CVD System, 12" Process: SiN, LowK, ALD 2015 vintage.
AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALOLYMPIA CMOS反应器是一种高度先进的技术,旨在使半导体制造中的光刻性能最大化。这一设备能够处理30多个光掩模,并拥有一系列先进的光刻特性,如相移掩蔽、双曝光光刻和接近校正。反应堆采用独特的双曝光技术,允许像素精确定位和最小化曝光。此功能可提高制造效率,而不会影响分辨率或精度。AMAT Olympia CMOS反应堆还提供多种分辨率增强选项,如离轴照明、干涉测量和焦点细化。此外,该系统还能够利用多种材料,包括聚酰亚胺、PE-CVD光刻胶、光刻胶回流等。该反应堆还提供各种先进功能,旨在最大限度地提高晶圆吞吐量和产量。这包括利用高密度电荷耦合器件(CCD)传感器和闭环过程控制单元。CCD传感器使机器能够快速检测和调整最佳的图样放置和曝光,以获得最佳的光刻效果。闭环过程控制工具进一步减少了手动调整的需要,因为它提供了晶圆位置和过程参数的恒定反馈,以自动进行任何必要的调整,使机器能够以最佳效率运行。在软件方面,APPLIED MATERIALOMPIA CMOS反应堆运行最新版本的APPLIED MATERIALYLOMPUS光刻套件。该软件平台提供了丰富的功能,如模式投影、失真校正、腔室映射、边缘珠去除等等。此外,Olympus套件还能够在实际晶圆处理之前模拟光刻工艺,为操作员提供预期结果的详细视图。总体而言,AMAT/APPLIED MATERIALS/Olympia CMOS反应堆是一种用途广泛、效率极高的光刻技术,专为广泛的半导体制造应用而设计。该资产拥有一系列先进的光刻功能、高密度CCD传感器和闭环工艺控制,以及Olympus光刻软件套件,具有无与伦比的性能。
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