二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Oxide chambers for MxP+ #293650013 待售

用于MxP+的氧化室是一种最先进的高性能氧化物反应器。该设备配有两个工艺室，每个室都配有独立的独立电源，从而实现单独的氧化物反应堆配置或同时加载晶片。它经过专门设计,以应对当代下一代设备功能（如分层和设备内结构）的挑战,并提供极端的过程稳定性、精确度和可重复性。MxP+的AMAT氧化室具有接受广泛前体的灵活性，包括一氧化二氮（N2O）、低k氟化气体以及多种硅、​​和有机金属反应物。它们具有集成的HD-OFF-III热壁CVD工艺,能够处理高温退火和高压工艺。系统可以使用多种气体，并且由于使用了独立的电源，该单元被设计用来防止晶圆在处理过程中受到干扰。适用于MxP+的应用材料氧化室的基本氧化过程快速可靠，所得电介质膜均匀分布在硅和金属氧化物半导体（MOS）器件上。在薄膜钝化方面，氧化物腔室提供了在各种蚀刻化学的各种底物上可加工的标准标准膜的均匀性。此外，氧化物室提供了重复开口的薄膜和一致的填充率。此外,用于MxP+的氧化物腔室还配备了高性能光学剖面仪和先进的视频显微镜,可实时控制和监控薄膜,确保一致的高精度结果。除了加工室之外，这台机器还附有一个软件包，旨在使工具的操作和维护变得容易和方便。此软件提供准确的流程控制、报告和流程配方管理,以及详细的故障显示和警报。AMAT/应用材料MxP+的氧化室是那些需要可靠和高效氧化物反应器来处理其最先进的电子设备的人的理想选择。凭借其强大的设计和过程控制,此资产在最高精度和吞吐量级别上提供了所需的精度和可重复性。