二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Chamber #9186167 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Chamber是一种高性能反应器，旨在实现半导体器件制造过程中的快速、精确和精确处理。AMAT P5000 Chamber凭借其先进的功能，为关键应用提供了最高水平的温度均匀性、可重复性和温度控制。应用材料P5000室由两个截然不同的部分组成-一个处理部分和一个热隔离室。加工部分包括一个在加工过程中容纳基板的真空室，一个在加工过程中支撑基板的上层卡盘，一个用于背面温度控制的下层静电卡盘，以及一个石英配置的磁感器/升力销，在加工过程中提供精确的基板定位。此外，还包括一种气体向基板输送设备，根据需要在不同的压力和流量下将所有气体精确输送到基板。隔热室为基板提供了一个隔离的环境，并允许以更高的精度控制基板各个部分的温度。隔离室设有一个独特的机制，称为"快门系统"，在P5000室加工过程中有助于调节和维持基板的温度均匀性。当处理完成时,快门单元会自动关闭自身,从而确保最佳的处理环境。在机器启动和关闭期间,这种热隔离也是有益的,因为它可将基板或腔室温度变化降至最低。AMAT/APPLIED MATERIALS P5000室还设计了一系列其他功能,以支持精确和精确的处理。它包括一个自动晶圆传输和定心工具，一个允许精确气体控制的原位残留气体分析仪，以及一个多气体输送资产。该室配备了高度先进的惰性气体环境管理模型，消除了对底物可能受到污染的担忧。AMAT P5000室的设计目的是在广泛的处理要求方面提供可靠的结果和最大的灵活性。其优越的温度均匀性、可重复性和温度控制能力使其非常适合多种应用，包括CVD、蚀刻、氧化、金属沉积等等。应用材料P5000室对于任何半导体制造设施来说都是一个非常宝贵的工具，能够实现精确、可重复和统一的处理结果。