二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 DxZ #9183838 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 DxZ是一种精密的高温化学气相沉积（HTCVD）反应器，能够在高达1400 °C的温度下沉积薄膜。该反应堆设计用于研究和工业应用，如金属氧化物薄膜和碳化硅层的生产，具有广泛的材料和电性能。AMAT P5000 DxZ是一种多区域设备，每个区域独立运作，并有自己的控制参数，如温度、流量、反应物浓度、腔室压力等。每个区内的温度可调高至1,400 °C，或以均匀或循序渐进的方式，而内部压力则可维持在6至40毫巴之间。反应物通过专用入口输送到每个区域，而每个区域还包含一个淋浴喷头，未反应的反应物可以通过该淋浴喷头反冲。APPLIED MATERIALS P5000 DxZ具有独特的管状结构,具有十二个同心圆柱形零件,用作加工气体的加热元件和安全壳。这些部件采用高纯度钼制成，并配有水冷铜隔热板，一起在整个基板区域提供出色的热控制和均匀加热。系统总温度均匀性通常优于± 1 °C。P5000 DxZ包括高级安全功能,如过程监控、自动事故检测、爆炸保护、故障警报通知等。它还配备了具有用户友好的图形用户界面和远程监控功能的高级控制单元，方便地集成到现有的过程控制机中。总体而言，AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 DxZ是薄膜高温沉积的绝佳选择，适用于研究和工业应用。凭借其先进的设计和特点，该工具能够实现高度可重现和可靠的薄膜沉积工艺。