二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark I #9252520 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark I是为先进半导体加工而设计的最先进的干蚀刻反应器。它是金属、聚合物或绝缘体等敏感材料的高精度加工的理想选择。该反应堆因设计和建造先进，可提供卓越的晶圆蚀刻性能。设备的核心是一个独特的等离子体源，能够生产纳米精确的微粒控制等离子体。这种先进的技术产生了质量最高的均匀蚀刻轮廓和更好的特征控制，当图样定义与苛刻的材料问题。AMAT P5000 Mark I也有一个全自动的控制系统，提供可重复蚀刻过程的高产率。APPLIED MATERIALS P5000 Mark I还采用了创新的腔室设计,能够在不影响稳定性或性能的情况下提高生产效率。具有低温体、可调源功率、高效供气结构。这保证了腔室具有较高的均匀性、较低的颗粒密度和显着提高的蚀刻速率。P5000 Mark I还有一个专有的低温腔室衬里单元，允许腔室达到仅20-30摄氏度的温度。这台机器还确保了更好的热均匀性，导致了更高的等离子体密度和增强的高精度蚀刻。AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark I还提供了一种高性能装载机,可支持各种部件,即使是那些污染程度很高的部件。最后,此工具具有出色的诊断功能,可以识别和报告各种参数,帮助快速高效地诊断任何性能问题并快速解决这些问题。总之，AMAT P5000 Mark I是一种高性能的先进蚀刻反应器，具有优异的晶圆加工性能，增强了特性控制，提高了蚀刻产量。它配备了独特的等离子体源、高效的气体供应以及低温腔室衬里资产，使其能够生产出高度均匀、纳米精度的等离子体。它还具有出色的诊断功能和支持多种部件的高性能加载程序。