二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark I #9313267 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark I，俗称AMAT P5000 Mark I，是为化学气相沉积（CVD）而设计的高容量高通量工具。APPLIED MATERIALS P5000 Mark I能够处理小型和大型基材尺寸,使其成为工艺开发和研究应用的理想解决方桉。基地配置由全自动CVD反应物输送设备、40英寸底物支架、两个控制过程流量的气箱、反应室和气动操作的垂直升降机组成。P5000 Mark I具有用于高级流程监控的新集成数据收集系统,以及用于故障排除和流程优化的各种诊断工具。AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark I配备了一个气体输送装置，可以控制多个气体。过程气体的输送通过两个气体盒进行管理，这两个气体盒可以被排序以提供可重复的结果。气体箱最多可容纳16种不同的气体，然后使用质量流控制器流过反应室。反应室是直径为20英寸的不锈钢衬里圆柱形室。它具有高达1000 °C的温度和10 Torr的压力，晶圆容量为11英寸。反应室由独特的脉冲清除机进行清洗，该机最大程度地提高了工艺气体的均匀性。AMAT P5000 Mark I还具有垂直升力，可调节反应室上的晶圆水平，以提高工艺参数的均匀性和稳定性。它由气动工具驱动，可以自动实现可重复结果。此外,它还可以为需要射频能量的过程配备可选射频发生器。APPLIED MATERIALS P5000 Mark I是一种先进的工具,具有先进的技术,能够进行可靠和精确的CVD处理。它为工艺开发和研究应用提供了有效的解决方桉，允许生产高质量的薄膜材料。集成的数据收集资产增强了过程控制,诊断工具支持优化和故障排除。