二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II MxP+ #9082548 待售

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ID: 9082548
晶圆大小: 6"
Metal etcher, 6" (2) Chambers 1995 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark II MxP+是一种单晶圆,400毫米PECVD(等离子体增强化学气相沉积)反应器,设计用于半导体制造业的大体积沉积过程。它配备了优越的工艺统一性、广泛的工艺能力以及先进的自动化特性,使其能够处理复杂的沉积过程,并实现快速的生产时间。AMAT P5000 Mark II MxP+采用独特的单晶圆、先进的集群工具技术。此设计具有快速的运行速度、出色的生产吞吐量和卓越的工艺一致性。单晶片技术消除了晶片处理带来的问题,实现了高度的过程重复性和均匀性。设备采用灵活、模块化的平台,提供广泛的处理能力。模块每晶片技术允许用不同的一组工艺参数处理基板,并使用户能够同时进行蚀刻、沉积和烧蚀等多晶片工艺。APPLIED MATERIALS P 5000 MARK II MXP+还具有先进的自动化功能。其内置的自动化软件ATHENA简化了复杂的沉积过程,允许多个过程实现自动化,并与其他设备集成,如检验和计量工具。ATHENA还提供高级晶圆跟踪和数据分析功能,使实时监控流程数据变得更加容易。该系统还配备了广泛的附件,包括工艺和诊断室、最终效应器以及有助于减少处理时间、提高机器吞吐量和延长其使用寿命的对齐单元。此外,该工具的设计考虑到安全性,并符合欧洲联盟《业务守则》中概述的严格安全标准。AMAT P 5000 MARK II MXP+是一种先进的单晶圆、400毫米PECVD资产,旨在处理复杂的沉积过程,非常适合大批量生产环境。该模型提供了一系列的工艺能力、快速的加工速度、卓越的工艺统一性和先进的自动化,使其成为现代半导体制造的理想选择。
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