二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II MxP #9200085 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark II MxP是一种大面积的钨MPCVD反应器，设计用于在多种大型基板上制造薄膜涂层。该反应堆设计用于生产和研究环境，能够使沉积温度提前达到750C。基材直径可在2英寸至8英寸之间，由晶圆夹紧设备固定到位。真空室配备了线性电动转移机器人以及双升降销系统，允许加热基板的精确运动。该装置还配备了若干功能，能够进行过程控制和监测。其中一个特性是内置的监控器，它提供对工艺室条件的实时反馈。内置的六通道温度监视器有助于识别任何与温度相关的不规则性,并帮助用户相应地调整腔室温度。此外，该工具利用六区双淋浴头输送资产，通过控制进入模型的过程气体的压力和流量，有助于提高过程的均匀性。AMAT P5000 Mark II MxP反应堆配备了多种安全特性，以满足严格的安全要求。这些特点包括高压情况下的自动关闭机构、防止过热的热保险丝以及挥发性材料的过期控制指示器。此外，反应堆有一个集成的故障安全机制，在发生电源故障或其他故障时隔离和疏散腔室。总体而言,应用材料P 5000 MARK II MXP是一种先进的沉积和反应平台,非常适合生产和研究应用。内置特性和安全协议有助于简化操作,并为用户提供在各种大型基板上生产薄膜涂层的可靠高效方法。