二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II MxP+ #9200093 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark II MxP+是一种等离子体增强原子层沉积（PEALD）反应器,旨在制造具有可靠、均匀性能的多种材料。该设备专为研究、工业和商业用户而设计，具有最高的精确度和可变性，可用于工艺优化。该装置由EL-Plasma外壳、P5000 E-gun电源和控制单元组成。EL-Plasma外壳内装2区加热元件，原位气体溷合系统，以及密封以维持温度和压力控制的真空室。P5000电子枪能够产生2到50kW的输出功率范围，1MHz时微调能力为1kw。这允许用户创建1.5至4.0 x 10^20/cm^ 3之间的等离子体密度,从而使用户能够精确控制其沉积过程。控制单元是指机器的监控技术，利用基于AI的算法，在沉积过程中精确调整反应堆参数，自动优化沉积结果。AMAT P5000 Mark II MxP+支持多种材料,包括氧化物、氮化物、碳化物、合金和金属基板。EL-Plasma外壳中的双区加热元件使腔室中的温度保持在200°C至1000°C之间，而压力范围从1 mBar到0.1 mBar。此外，用户还可以精确控制高达-1,500伏的基板偏压和高达20 Watt/cm2的离子通量。总体而言,应用材料P 5000 MARK II MXP+是一个强大、可靠和精确的沉积单元.它具有先进的功能和监控技术,非常适合研究、工业和商业用户。该装置能够再现极低至高温和高压范围的结果，并能在微调腔室等离子体和偏压的情况下产生独特的沉积剖面。该机旨在优化各种基材和材料类型的最大沉积速率和均匀度的工艺参数。