二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II #293586419 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark II Varian反应堆是一种专门设计用于对各种材料进行精确蚀刻处理的等离子体蚀刻反应堆。它具有薄膜沉积设备，是市场上最先进的干蚀刻系统之一。该系统利用先进的静电卡盘（ESC）在基板水平，提供了良好的温度控制和均匀性在样品单选更均匀蚀刻。该单元的离子束源由三源射频等离子体发生器和一个T形阴极组成。然后将等离子体聚焦成对称的均匀光束，转移到进行蚀刻的基板表面。脉冲调制机对腔内等离子体进行了修改，使蚀刻工艺参数与被蚀刻材料精确匹配，从而进一步加强了整个过程。AMAT P5000 Mark II使用微波环形推进器在整个腔室中产生不均匀的等离子体分布。等离子体随后通过电子回旋加速器与电子束共振转移到样品上。这允许在优化蚀刻过程的同时控制样品的均匀性。离子束源利用ELNA夹枪，允许精确特征的高分辨率处理。该工具还具有蚀刻速度优化过程和数据管理软件包,允许根据所需参数进行处理。应用材料P 5000 MARK II是各种材料中需要精确蚀刻和薄膜沉积的理想材料。广泛应用于航空航天、微电子、光学传感器等需要精密蚀刻和薄膜沉积的行业。此外，资产还配备了一套广泛的用户友好控制，从而能够精确控制蚀刻过程。该型号还与标准蚀刻工艺和设备完全兼容，大大降低了设备集成的成本和时间。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000 MARK II是一种可靠高效的蚀刻系统,非常适合需要精确蚀刻性能的各种行业。