二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II #293596273 待售
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ID: 293596273
晶圆大小: 6"
优质的: 1990
Etcher, 6"
(2) Chambers
Gases: He, HCl, N2
NESLAB HX-150 Chiller
EBARA Pump
Indexers
Chuck type: Clamp
Standard frame type
Manual loader type
Automated cassette-to-cassette handling
Pumps
Controllers
Chillers
RF Matches
AC Power box
Generator rack
1990 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark II是一种先进的等离子体蚀刻沉积反应器,非常适合半导体工业使用。AMAT P5000 Mark II提供高级流程,提供高性能和吞吐量,包括批处理的可能性,有助于降低总体成本。APPLIED MATERIALS P 5000 MARK II是一种完全自动化、PC控制的粒子蚀刻设备,能够提供精确、可重复的过程。通过获得专利的自校准技术,APPLIED MATERIALS P5000 Mark II确保了对工艺参数的出色控制,确保了群集中许多工具的一致结果。此外,还可以对机器人进行编程,以使用6轴机器人自动将晶片从系统的输入交换到输出。反应堆的工艺室由不锈钢结构制成,设计用于高利用率,维护最少。AMAT P 5000 MARK II结合定向蚀刻和其他离子源提供化学交换,增加了应用和工艺的潜在范围。此外,该单元还具有多种特性和功能,如用于监控过程条件的内部光学机器,以及用于统一无维护操作的被动冷却架构。P5000 Mark II与多种基材兼容,包括Quartz、Si、GaAs等。此外,该工具还配备了高精度晶片对准和定位系统,将晶片置于最佳位置,以确保工艺的统一和一致。P 5000 MARK II非常适合要求对等离子体蚀刻过程进行出色控制和统一结果的应用,提供高度的准确性和质量。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000 MARK II结合了自动化系统和先进硬件,是一种先进的反应堆,可用于许多需要精密工艺的行业。
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