二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II #293622113 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark II是一种广泛使用的等离子体蚀刻设备，利用等离子体的力量蚀刻基板。AMAT P5000 Mark II是一种精密的设备,旨在提供一致可靠的性能。它以低压平行板等离子体室建造，并由功率高达25千瓦的高频射频发电机提供动力。该系统还配备了扩散泵，为蚀刻过程创造了较高的真空水平。APPLIED MATERIALS P 5000 MARK II配置有两个独立的源气体和一个泵气，允许在一次运行中进行多次蚀刻应用。其用户友好的设计可实现快速的流程设置和一致的操作。P 5000 MARK II还提供了许多高级控制功能。它有一个可编程逻辑控制器（PLC），对过程气体的定时和浓度提供精确的控制。它还有一个数字触摸屏界面和软件，简化了流程参数的设置和监控，以及用于进一步分析的记录数据。此外，该装置有一个原位光发射光谱（OES）机器，有助于优化蚀刻速率和质量。P5000 Mark II适用于一系列材料，从硬质材料到聚合物和有机材料。蚀刻速率可高达1毫米/分钟，晶片均匀性极佳，在细腻的基板上几乎没有充电或静电。此外，它易于维护，中毒的可能性降低，使得工具的可靠性和成本效益。总体而言，APPLIED MATERIALS P5000 Mark II是一种高性能和可靠的等离子体蚀刻资产，适用于广泛的蚀刻应用。它配备了高级控制功能,能够精确控制蚀刻过程,而用户友好的设计简化了使用和维护。
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