二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II #9081647 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark II是一种反应性离子蚀刻器（RIE）-一种用于电子元件微加工的等离子体反应器,特别是用于创建纳米级特性。该工具能够精确蚀刻具有非常高的分辨率和对等离子体参数的出色控制的薄膜材料。系统的主要部件包括真空室、用于产生高频无线电波的天线、反应管、气体入口和出口以及控制器。AMAT P5000 Mark II利用射频等离子体在真空室内产生反应性高能物质。等离子体中产生的反应性物质与气体分子发生反应，并通过金属天线产生的电场沿反应管加速。指向工件的高能物质与表面和蚀刻薄膜材料发生反应。该工具的设计易于维护和校准,并在系统上安装了一个监视器,用于跟踪关键参数,包括气体压力、温度和功率。APPLIED MATERIALS P 5000 MARK II的工作温度范围为5至80˚C,压力范围为1.3至1000 mTorr,适用于各种材料和工艺。对不同材料的应用功率、反应化学和加工条件进行了优化，使纳米结构地形具有很高的蚀刻速率、出色的分辨率和控制能力。该系统还具有可编程的自动聚焦，在蚀刻过程中可保持高达50 mTorr的恒定反应压力。AMAT P 5000 MARK II是电子元件微加工、纳米级特性、高分辨率、高精度、对等离子参数控制出色的薄膜的理想选择。该工具具有很高的可靠性和经济效益,并提高了生产效率和可重复的性能。