二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II #9086795 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark II是一种大型、专业级的反应器，用于薄膜和其他材料的化学沉积。用于生产半导体材料等集成电路元件。AMAT P5000 Mark II是一种步进重复设备，有两个独立的磁头，每个磁头包含两个插槽，最多可容纳4个加工室。每个插槽最多可容纳3个腔室，以容纳各种工艺，包括薄膜沉积和蚀刻。双头架构允许在配置系统时具有很高的灵活性。Mark II有一个负载锁单元，最大晶圆尺寸为12英寸。它具有自动转换机，可以在单步过程中在插槽之间移动晶片。该工具采用模块化设计,便于升级和重新配置,从而增强了用户的灵活性。Mark II具有高真空锁载室，仅使用几毫罗泵就能保持高达10-3托尔的工艺压力，非常适合原子层沉积等苛刻应用。资产还提供了一个疏散和排气模型，以便快速控制工艺气氛。APPLICED MATERIALS P 5000 MARK II利用气体面板，可以支撑多个气源。燃气面板还有一个用于温度控制的集成热交换器，允许对燃气溷合物进行实时调节，以实现最佳的工艺控制。此外,该设备还具有一组用于配置单个腔室I/O的高级电气进给通路,以及每条线路的独立电源。该系统配备了直观的基于Windows的控制单元，可轻松配置和控制各种功能。此外,Mark II提供了内置配方,以简化流程开发和后续操作。在安全方面，该机设有安全联锁工具，以防止任何意外操作和紧急关断开关。此外,资产的ESDS功能可保护加工室免受地面故障的影响,并为附近的任何工人提供进一步的保护。AMAT/APPLICED MATerials P 5000 MARK II是一种非常先进和可靠的反应器模型，非常适合薄膜和其他材料的化学沉积。P 5000 MARK II具有高真空锁载室、模块化设计、自动化传输设备和内置安全功能,为用户提供了增强的控制、精度和灵活性,以满足其薄膜沉积需求。