二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II #9097285 待售
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ID: 9097285
晶圆大小: 8"
PECVD SiN system, 8"
(4) Chambers: PECVD SiN, lamp heated
Robot: Phase III
Robot blade assy: missing
TTW Config
Elevator: 15-slot
Egormica loader: optional
Phase 4 matches on each chamber
VME: 21-slot
Heat exchanger: AMAT-0.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark II反应器是一种用于制造集成电路(IC)芯片的沉积工具。这种工具对于现代半导体材料的制造至关重要。它用于将材料的薄膜施加到基板上,从而允许创建微小晶体管和互连所需的复杂结构。这使得它成为IC芯片制造过程的关键部分。AMAT P5000 Mark II基于P5000工具平台,为要求苛刻的应用程序提供高级流程功能。其总体占地宽度为64英寸,底座宽76英寸。该基地最多可支持四个工作单元,允许同时开展多个进程。每个电池都配有50厘米乘30厘米的石英衬里,能够承受高达1000 °C的温度和高达5 Torr的压力。细胞是可调的,可以附着在蒸发、溅射或离子掺杂源等各种来源上。该系统还配备了广泛的传感器,如压力和温度检测,以及集成的观赏区域。这允许用户密切监视流程参数,以确保获得最佳结果。此外,APPLIED MATERIALS P 5000 MARK II使用开放式通信体系结构,使其能够与广泛的自动化系统集成。APPLIED MATERIALS P5000 Mark II也有其他配置可用,例如P5000EO版本,即二氧化碳激光,可用于激光烧蚀处理。此外,P5000TI版本有能力使用匹配的配对crucibles来增加温度控制,以及飞机级的铝制衬里来提高温度均匀性。所有这些功能使P5000 Mark II成为高级IC制造的通用且可靠的工具。
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