二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II #9210742 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark II是为200 mm晶圆制造而设计的半导体加工反应器。它使用红外加热器，能够在高温下快速热循环，进行各种过程，包括退火、氧化和沉积。该腔室配置有两个分隔区和腔室，可在两个腔室中独立控制温度。模块化设计提供了从一个过程到下一个过程的连续性,从而可以轻松集成和优化过程。Mark II也有高长宽比蚀刻室的选项。Mark II使用室压控制，总系统压力和温度控制为1000-5000 Torr。过程化学通过双等离子体源、原位排气等离子体、气体化学管理等方式输送。控制器包括一个内置的诊断系统,以确保最高质量的结果和可重复性。Mark II融合了多种硬件和软件进步，包括用于多频控制的RF发生器、用于温度和压力稳定性的Auto Tune、用于温度漂移补偿的智能导体和用于更好的RF效率的智能电极。这使得Mark II能够实现更高的屈服度、更严格的工艺公差以及改进的热均匀性。Mark II附带的软件还提供高级功能,包括流程工作流监视、配方调度和参数优化。最后，Mark II拥有一个整体式三轴机器人，可以方便地装卸晶片。AMAT将Mark II设计为200 mm晶圆制造的一种经济高效的选择。AMAT P5000 Mark II具有先进的特性和可靠的性能，是半导体加工的理想选择。