二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II #9211014 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark II是一种创新的多室反应器，设计用于制造具有更快周期时间和提高产品产量的先进电子产品。AMAT P5000 Mark II采用集成硬件、软件和服务的智能设备,使用先进的基材材料和定向能源技术来提供高度先进的晶圆制造工艺。该双室反应器具有高温、低压处理能力，具有无菌设计过程处理能力，用于管理空气和化学污染。APPLIED MATERIALS P 5000 MARK II具有超精确的运动控制系统,可确保准确和可重现的结果。多室反应堆配有集成热循环变换和先进的湍流控制单元，促进整个过程的均匀性。高压密封确保在过程中任何时间对任何腔室施加均匀的压力。自动晶片处理机确保晶片的快速高效装卸。该工具配有一个简单的用户界面和一个预先安装的配方和专用工具的综合库。P 5000 MARK II利用先进的多区域温度控制资产在多个腔室中创建了广泛的温度分布。该型号可维持500-1600 °C的温度，坡道速率可调。根据应用情况，不同的腔室可以提供一系列大气，包括，N2，Ar，H2或工艺气体大气。复杂的沉积和晶圆清洗过程由车载自动气体分配设备实现。APPLIED MATERIALS P5000 Mark II还配备了一系列工艺监视器，包括用于连续评估工艺输出的精密压力、流量和温度测量。可选的内部工艺质谱仪提供工艺气体浓度的实时反馈。坚固的平台专为长期运行而设计，维护时间表较低。反应堆获得专利的热循环变换系统大大降低了反应堆运行过程中的能耗。总体而言，P5000 Mark II是一个强大的多室反应堆，旨在使先进的研发项目栩栩如生。AMAT P 5000 MARK II结合了灵活的硬件、先进的软件和卓越的性能，是现有最先进的反应堆之一。