二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II #9213673 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark II是一个多室、多区、原位沉积反应堆。它是专门为各种薄膜材料在超高真空中的高通量沉积而设计的。AMAT P5000 Mark II具有先进的微区技术,在整个沉积区提供了极好的均匀性和温度均匀性。这确保了精确和可重现的薄膜沉积结果。该设备具有极高的均匀性和沉积率。该系统包括两个独立的真空室,用户可以同时优化薄膜沉积和薄膜蚀刻的沉积条件。APPLICED MATERIALS P 5000 MARK II配备的先进高速运动控制,优化了基板位置、晶体生长方向和颗粒沉积。此外,红外加热、超低排放热蒸发和快速热退火等先进加热选项也适用于不同的薄膜工艺。AMAT/APPLICED MATERIALS P 5000 MARK II专为顶级性能而设计,具有强大的真空环境。该装置采用自动再结晶工艺,涂有氧化锡锡组件,采用低成本的直视离子源,以及世界上第一个采用先进反射法测量的端点检测系统。这使机器能够根据来自各种原位监控系统的反馈自动调整工艺条件。AMAT P 5000 MARK II也因其自动化的原位扫描电子显微镜而备受推崇,它能够快速沉积和表征由工具引起的任何过程。P5000 Mark II提供卓越的过程控制,具有灵活性和可扩展性。先进的软件套件和集成的集成能力允许用户在改变环境或底物时,将不同反应堆的配方或使用配方从一个工艺转移到另一个工艺。该资产的设计具有高度的工艺灵活性和不同的材料组合,可用于广泛的沉积工艺。总之,P 5000 MARK II是一种先进的多室多区反应器,专门为各种材料的超高真空薄膜沉积而设计。该模型凭借其先进的微区技术,实现了具有灵活性、可扩展性、可扩展性和卓越同质性的卓越过程控制。该设备还包括一系列先进的功能,如自动再结晶工艺、氧化锡铀组件、低成本的直接查看离子源和端点检测,以确保每个工艺都能准确可靠地交付。
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