二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II #9288010 待售

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ID: 9288010
晶圆大小: 6"-8"
CVD System, 6"-8" Mainframe (2) UNIVERSAL TEOS or nitrtide chambers 8 Slot storage elevator Remote frame Vacuum pumps.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark II是一种先进的等离子体蚀刻工具,用于生产精确的电路、显示器和其他微型元件。AMAT P5000 Mark II设计精密灵活,能够以高产和可靠的质量制造极其复杂的形状、图桉和序列。应用材料P 5000 MARK II建立在经过验证的P5000平台上。它是一个单一的晶圆装置,接受150 mm或200 mm晶圆,最大外形尺寸为8 "x 8"。它具有先进的工艺室设计,为均匀蚀刻型材提供了高等级的热均匀性。该腔室配有双源石英气喷射器设备,能够在不同蚀刻要求下实现卓越的工艺控制。该系统还有一个陶瓷衬里,以增强附着力和可靠的化学传递。蚀刻过程由E-Flex控制单元驱动,E-Flex控制单元是一个功能强大的用户友好软件包,可精确控制校准、蚀刻速率、温度、气体输送和工艺参数。E-Flex控制机为操作员提供所有过程变量的实时反馈,从而能够精确调整过程以确保最大产量和最高产品质量。AMAT/APPLICED MATERIALS P 5000 MARK II在高离子电流密度下运行,350A/cm2在500-5000W之间具有可重复的工艺范围。这样可确保深度蚀刻剖面的高渗透率和快速处理时间。它还提供了整个晶片表面的均匀性,深度分辨率高达10微米,深度超过1mm的可重复氧化物蚀刻循环。APPLIED MATERIALS P5000 Mark II工具具有诸如晶片探头、自动锁定工具和压力监视器等安全功能。它们共同确保操作不间断和安全,并将操作员受伤的风险降至最低.它还具有一些附加功能,例如200-400Kg负载锁定、温度监视器和集成跟踪资产,从而提高了流程的准确性和统一性。它还获得了若干工业监管标准的认证,如NRTL/C、CE和UL。总体而言,P 5000 MARK II是一种高效、精确的工具,能够以极高的可靠性和准确性生产高度复杂的结构和组件。它是市场上最先进的蚀刻系统之一,非常适合电路制造和微芯片组装。
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