二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II #9298983 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark II是一种先进的蚀刻工艺反应器,可提供更好的等离子体精度和控制,提高设备产量和性能,同时降低拥有成本。这种蚀刻工艺反应器适合于氙气和氟基加工。它能够蚀刻多种材料，如硅、多晶硅等。AMAT P5000 Mark II是一种配方驱动、具有生产能力的工具，有四个I/O操作中心和一个蚀刻室。它还具有多通道、低压Monoblock™磁控管，可确保反应性气体种类离子和气体中和的受控功率水平。Monoblock磁控管提供等离子体轮廓的增强控制和精度，以最大限度地提高晶圆从边缘到中心的过程均匀性。它还配备了射频阻抗系统，可确保对反应物气体的波动作出快速的自适应反应。APPLIED MATERIALS P 5000 MARK II旨在通过过程稳定性、吞吐量和生产率最大限度地提高生产率,并实现最佳蚀刻深度和轮廓控制。通过包括高级源调节模块以实现射频源匹配和过程优化,进一步提高了工艺性能。所包括的气体输送系统允许各种反应物气体，并提供平衡的气体流速、低反应物气体泄漏和尽量减少晶圆上的污染沉积。此外，该工艺室还配备了先进的薄膜沉积监测系统，为晶片上的沉积提供了原位晶片映射。通过监控沉积层，操作员可以快速检测蚀刻工艺参数的任何细微变化，从而可以立即进行调整和校正。总体而言,应用材料P5000 Mark II蚀刻工艺反应器是一种功能强大的蚀刻工具,可提供改进的等离子体控制、均匀性和工艺优化,以最大限度地提高设备产量和性能。凭借其先进的控制系统和多通道射频源，它为用户提供了一种有效、可靠的材料处理手段。