二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II #9298984 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark II是一种用于半导体器件制造的单晶圆电化学反应器。AMAT P5000 Mark II具有独特的设计，结合了坚固的腔室结构和多个桨叶系统，实现了高通量和低颗粒污染。腔室设计由热壁结构组成，腔室容积为8升。腔室是完全密封的，允许比传统的冷墙设置更高的压力。桨系统包括上下两个桨，以及一个加热器支撑组件。这种设计允许晶片的高吞吐量，因为晶片在整个过程中均匀间隔和搅拌。该室采用不锈钢腔体、真空安装腔盖、O形环腔盖密封、特氟龙涂层腔壁和石英衬砌的加热器块构成。Mark II还配备了集成的蠕动泵，能够准确高效地输送化学品和反应物。泵的可编程控制器允许精确的泵速和化学流速。Mark II还提供了一系列附加功能,例如可选的双电压操作、多种冷却选项和加热的排气真空。加热的排气真空在整个过程中保持一致的温度，而冷却选项有助于控制反应速率。Mark II还可以配备多种附加配件，包括气体面板、气体调节器、阀门以及多端口电容耦合等离子体（CCP）源。这些附件允许执行一系列处理任务,包括蚀刻、氧化、沉积等。总体而言，APPLIED MATERIALS P 5000 MARK II是一种为半导体器件制造而设计的坚固、高效、可靠的单晶片电化学反应器。具有最大腔室压力2.5 torr的热壁室结构、高通量多桨系统、精密流量控制的集成蠕动泵、多端口CCP源等多种处理任务。