二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II #9298986 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II
ID: 9298986
晶圆大小: 6"
CVD System, 6".
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark II反应堆是一种高精度基板处理设备,旨在为用户提供IC集成(集成电路)生产的卓越性能。该工具利用多步工艺完善硅片,包括离子注入、外延层沉积和器件蚀刻。系统设计为每小时可处理多达106个晶圆,因此其基材尺寸为8英寸或200毫米。AMAT P5000 Mark II利用电感耦合等离子体(ICP)电场来产生掺杂基质上选定区域所需的离子。这种方法具有很高的可重复性和准确性,使工具能够以经济高效的方式生产出优越的IC。此外,APPLIED MATERIALS P 5000 MARK II可以控制压力、温度和浓度等各种参数,从而提高了工具在基板上生产所需掺杂区域的控制和精度。该装置既装有用于外延沉积的高级初级室,又装有用于蚀刻的高级第二室。这允许用户利用其生产过程中的两个阶段。主室采用气体输送机来保证掺杂的准确性和稳定性。这种气体输送工具不断受到监测和管理,以保持恒定和一致的掺杂过程。为了最大限度地提高性能并减少浪费,APPLIED MATERIALS P5000 Mark II利用了专有的3D自动资产接口。此界面为操作员提供进程的图形表示,实时显示关键参数和设置。这样就可以更轻松地设置处理时间、温度和其他变量。综上所述,APPLIED MATERIA P5000 Mark II™是一种先进的基板加工工具,旨在为集成集成生产提供卓越的性能。其先进的ICP电场掺杂工艺可提高准确性和可重复性,有助于保持成本效益。该工具还配备了高级主室和副室,以及专有的3D自动模型界面,可为操作员提供过程的图形表示。这使操作员能够轻松设置变量并最大限度地提高性能,同时减少浪费,使其成为生产复杂集成电路的优越工具。
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