二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II #9365936 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark II反应器是一种用于蚀刻、沉积和物理气相沉积等应用的等离子体加工工具。这种独立的、自给自足的设备能够在单个腔室中支持各种等离子体工艺，从而实现简化的生产工艺。AMAT P5000 Mark II能够通过等离子体处理技术快速高效地改变半导体和其他材料的特性,从而能够快速原型设计和快速制造定制元件。应用材料P 5000 MARK II是一种先进的等离子体处理系统.它采用双淋浴头源和专利等离子体源模块设计的独特专有组合，为广泛的处理应用生成高密度射频等离子体。该单元的特点包括过程控制真空环境和自动化等离子体处理技术。该机由主室、加工室和专用控制器组成。主室为圆柱形不锈钢外壳，直径180厘米（71英寸），长度371厘米（146英寸）。这允许使用各种处理参数。加工室位于主室内部，可容纳各种部件进行加工。所有的等离子体处理都是在工艺室内进行的。专用控制器操作群集式流程配方工具，使流程条件与应用需求进行高效匹配。该控制器还管理等离子体源,允许手动或自动编程沉积,并提供对基板加热、冷却和端点检测的过程参数控制,以及在整个过程中提供各种传感和反馈系统。P 5000 MARK II资产能够处理所有尺寸不超过15 × 15英寸（38 × 38厘米）的模具。它还可以处理厚度达300毫米（12英寸）的基板。此外,全自动模型还提供高级流程集成、一流的RF发电机和流程支持,以及旨在优化生产流程和实现最佳性能结果的软件工具。AMAT P 5000 MARK II是一种先进的等离子体处理设备，旨在满足广泛的等离子体蚀刻、沉积和物理气相沉积过程的需要。APPLIED MATERIALS P5000 Mark II凭借其用户友好、功能强大的系统,提高了工艺效率、可靠性和性能,允许使用等离子体处理技术快速原型设计和快速制造定制组件。