二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II #9389398 待售
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ID: 9389398
晶圆大小: 6"
优质的: 1995
CVD System, 6"
SV21 SBC Board
Hard Disk Drive (HDD) Flush type
FDD, 3.5"
Cassette indexer
Electrical controller
Elevator type: 8-Slots, 6"
(2) CRT Monitors, 17"
(4) Chopper driver power packs
(2) Opto I/O BD
Buffer I/O BD
Robots: Phase-III
Robot blade: Standard vacuum
Centerfinder: USE
I/O Sensor
I/O Door
Vacuum sensor
Cap wafer sensor
Slit valve
AC Rack: 1 Shrink
Heat exchanger
VME Controller
Stepper control BD
EMO Option: Turn to release
EMO Button guardrings
Status light tower (Color / Position): Red, yellow, green
Signal cable: 25"
Flash hard disk drive
Floppy: 3.5" SCSI Driver
(3) ENI OEM-12A RF Generators
HX Seperate mani fold
Gas panel: 12 Channels standard / Minicontroller
RF Generator:
Chamber A: OEM12B-02
Chamber B: OEM12B-07
Chamber C: OEM12B-07
Electrical controller:
(2) TC Gauge boards
Power rack, 12 VDC; (2) 15 VDC
Buffer I/O board
(2) Opto I/O boards
(4) Chopper driver power racks
Chamber:
Chamber position: A, B, D
Chamber type: DLH 1-Hole
Process: SiH4 Oxide
Heater type: Lamp
Susceptor type: Al
Water lift type: Ceramic hoop
(3) Pumping plates
(3) Ceramic focus rings
(3) Shower heads
(3) Blocker plates
(3) Heater windows
(3) Bellow susceptors, 6"
(3) Bellows water lifts, 6"
(3) Lamp drivers
Delta nitride dual spring throttle valve
Gas panel: 20 Standard channels
Gas supply: Top down
MFC: UFC 1660
Manual valve: BENKAN
Pneumatic 2-Way valve: NUPRO
MKS 122B Baratron gauge, 10 Torr
VME Controller:
1 / SBC Board
2 / SV21 SBC Board
3 / SEI Board
4-5 / -
6 / VGA
7 / AO-1
8 / AI-1
9-12 / Stepper control board
13-16 / Digital I/O board
17-20 / -
Gases:
Gas / Range
N2 / 3 SLM
SiH4 / 100 SCCM
CF4 / 2 SLM
N2O / 2 SLM
1995 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark II半导体反应器是一种中压光敏化学设备，旨在提供高通量、可靠和可控的性能。它是一种全自动系统，能够对光刻工艺进行严格控制，从而在硅片等基板上形成紧密的药物释放胶囊。AMAT P5000 Mark II单元能够同时运行多个进程,其设计方式是确保以较低的运营成本最大限度地利用资源。APPLICED MATERIALS P 5000 MARK II反应器具有三室设计，包括主室、顶侧室和底侧室。P 5000 MARK II能够进行一系列光致抗蚀剂加工步骤，包括热和反应性热氧化物、有机金属化学、大面积均匀性降至10纳米以下以及化学增强蚀刻。AMAT P 5000 MARK II反应堆的输出速率高达500万晶圆/小时,能够连接多达4个用于多处理器光刻操作的P5000反应堆系统。P5000 Mark II配备了大量专用的硬件和软件组件,可实现严格的过程控制,从而实现极高的准确性。该机器基于具有冗余处理器的分布式控制体系结构,可确保高刀具可用性。它还带有一个高级图形用户界面，能够以图表和图表的形式显示详细的过程结果。因此，它提供了一个全面的工具来协助石版画家进行工艺选择和优化。它配备了一系列先进的计量元件，以提供精确的过程控制。应用材料P5000 Mark II反应堆还配备了一些专用的保护系统，这有助于确保安全的操作环境。例如，资产包括一个ESD保护模型，帮助保护人员和设备免受静电放电。此外，该设备还有一个内置的安全联锁系统，有助于降低意外部件故障造成工作环境不安全的风险。此外,设备还配备了监视器,可以向用户发出任何潜在故障警报,并使他们能够采取适当的纠正措施。综上所述，AMAT/APPLICED MATERIALS P 5000 MARK II反应堆是一台功能强大、可靠的半导体加工机。它配备了一系列精密的功能，结合了先进的安全功能，确保了高性能和超精确的处理效果。它提供了一个全面的，自动化的解决方桉，以实现紧密的药物释放胶囊形成在基板上，如硅片。
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