二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark ll #9186958 待售

AMAT P5000 Mark 11是一种高性能、经济实惠、可靠的蚀刻反应器，用于制造半导体和其他光电应用的薄膜。对于广泛的氧化物、氮化物和金属蚀刻应用来说，它是一种行之有效且可靠的多合一溶液。可用于金属、氧化物、氮化物和其他介电材料的图样化和无图样蚀刻。该机器完全自动化，具有先进的集成硬件和软件，能够实现高速蚀刻和高工艺产量。APPLIED MATERIALS P5000 Mark 11具有许多关键组件,包括射频发生器、射频和ICP蚀刻电缆、侧载式晶片放置室、透明压力系统和高级软件套件。射频发生器能够在频率上运行高达50kW的射频功率200MHz。RF和ICP蚀刻电缆可实现额外的蚀刻控制和优化。侧载式晶片放置室最大限度地提高了小、中、大批量晶片的吞吐量，同时确保晶片放置和取向一致。AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark 11利用独特的透明压力系统（TPS）,该系统能够在连续的单室环境中进行反应性和非反应性蚀刻过程,从而无需多室和晶圆的手动转移。TPS还可以实现精确的压力控制,以确保过程控制和可重复性。集成软件套件包括基于Windows的图形用户界面，为用户提供强大的性能、流程信息和可靠性。AMAT P5000 Mark 11是生产复合半导体、太阳能电池薄膜和MEMS等IC和光电子制造应用的理想选择。它的高速、成本效益和可靠性使其成为金属、氧化物和氮化物蚀刻的绝佳选择。软件套件为用户提供了一整套用于监控蚀刻过程和优化过程结果的工具。