二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 MxP #293607187 待售

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ID: 293607187
优质的: 1996
Oxide etcher (3) MxP Chambers 1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP是为高通量材料加工应用而设计的先进反应堆。AMAT P5000 MxP反应器能够同时执行多个过程,包括蚀刻、沉积和快速热处理。该反应堆可用于创建多层半导体器件,或替代现有效率较低的制造工艺。应用材料P5000 MxP是一种全金属、金属密封、单晶片加工室。它具有先进的保形屏蔽设备,设计用于处理大型基板尺寸的处理。模块化设置使P5000 MxP能够轻松集成到现有的制造线基础架构中。AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP反应器提供均匀的工艺室温度和分布,即使使用大尺寸的基板。此外,AMAT P5000 MxP具有全自动热壁温度控制系统,可进一步提高工艺室内的温度均匀性。APPLIED MATERIALS P5000 MxP提供了几种高级过程控制功能。这包括实时流程监控和数据记录,以及自动报告和文档管理系统。这样可确保高效的流程可重复性,并减少对手动流程的依赖。P5000 MxP还包括一个先进的多喷嘴电子束源输送装置。这提供了预编程,自动控制电容耦合等离子体源而无需操作员干预。该机精确控制等离子体源功率,允许高通量、高产制造。自动晶圆处理和RobotArm工具交换工具允许将多个基材一次装入AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP反应堆,并在处理运行期间交换。这样可以减少过程时间,从而降低产品创建成本。此外,它还允许产品输出的均匀性和更快的产品创建周转时间。总体而言,AMAT P5000 MxP反应堆是一个单晶片加工室,具有先进的屏蔽、过程控制能力和自动晶片处理。该反应堆具有高通量、大规模制造的能力,被设计成集成在现有的生产线内。
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