二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 MxP+ #293615042 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP+是利用脉冲连续载荷锁定（PCL）、闪光灯退火（FLA）和3D扫描工艺制造先进电子设备的多室反应堆系统。它还提供了对处理参数的轻松访问,并支持多个并行过程步骤。AMAT P5000 MxP+具有42 cm x 24 cm的PCL,可用于高温和超净过程的快速底物装卸。它利用内置的负载端口和车载微控制器进行精确的过程控制，以便在基板处理过程中严格控制氧气和水分。闪光灯退火（Flash Lamp Anneal，FLA）使用光能的超短脉冲提供高能退火，而无需外部加热基板。这一过程允许对温度、退火时间和能量扩散等关键过程参数的严格公差，同时保持良好的自对准控制。3D扫描过程提供了基板表面的高分辨率二维成像。它能够使用近红外相机进行精确的3D曲面映射,这有助于快速识别缺陷、分析轮廓和测量特征。这允许更高效的工艺开发和底物表征。APPLIED MATERIALS P5000 MxP+配备了支持电子配方转移、炉控制、腔室监控、生产跟踪和数据记录的软件。这允许流程自动化和对关键流程参数的实时控制。此外,数字触摸屏系统可通过单步操作轻松访问流程参数。这样可以确保快速、准确和精确的处理。P5000 MxP+是一种先进的多室反应堆系统，旨在为先进的设备制造提供精确的控制。Flash Lamp Anneal技术、3D扫描过程和用户友好的软件，适用于研究和工业环境。