二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 MxP #293816535 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP反应器是一种先进的沉积溶液，提供化学气相沉积（CVD）和物理气相沉积（PVD）过程。该设备采用高容量、低压室，可实现更快的薄膜沉积和更好的控制。广泛应用于半导体工业的器件制造，以及太阳能电池制造、MEMS/NEMS器件制造、溅射、离子束蚀刻等其他行业。该系统具有五个带有两个反应堆室的工艺吊舱。两个腔室都连接到涡轮分子泵和集成质量流控制器。每个吊舱独立运作，提供了同时运行各类流程和配方的灵活性。设备能够在几分钟内快速从一个进程转换为另一个进程。这有助于用户优化其配方,以实现一致的高产量生产运行。AMAT P5000 MxP反应器的工艺室利用先进的电荷耦合器件（CCD）磁珠/导线进料机来确保在刀具的整个使用寿命期间进行准确和可重复的沉积。该资产还利用干式清空管进料选项来创建一个清晰的干式工作区。这两种进料方式均经过了低颗粒、低真空和可洗涤以延长腔室部件寿命的测试。该模型的自动调谐控制器的设计是为了不断地获取腔室温度和压力读数，以自动优化沉积配方。这有助于最大限度地提高吞吐量和可重复性。APPLIED MATERIALS P5000 MxP还具有集成的数据记录器,该记录器记录设备数据并允许用户随时间跟踪其系统的运行状况。此单元数据是安全的,并存储在加密的本地存储卡上,从而确保数据的完整性和隐私。总之，P5000 MxP反应器是一种先进的沉积溶液，可提供化学气相沉积（CVD）和物理气相沉积（PVD）过程，并增加通量和重复性。这是CCD串珠/线送机，加上它的自动调谐控制器，允许良好的工艺效果和平稳的操作与最小的维护。加密本地存储卡允许数据完整性和隐私。该工具广泛用于半导体工业的器件制造，以及其他工业的类似应用。