二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 MxP+ #9116735 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP+是一种最先进的陶瓷线圈式反应器,其设计目的是在一系列工艺应用中提供卓越的性能。AMAT P5000 MxP+的反应室由两件式陶瓷涂层金属钟形罐形成。外部钟形罐能够承受高达1000 °C的温度，而内部钟形罐则能够操作至1200 °C的最高温度。内部钟罩采用特氟龙盖子，其设计目的是尽量减少颗粒污染，使样品易于进出内室。不锈钢线圈作为反应器主体，而穿孔等离子体护罩设计为提供最大的等离子体限制和反应室的均匀加热。在反应室内，APPLIED MATERIALS P5000 MxP+使用了各种高效过程的组合，包括低压化学气相沉积（LPCVD）和等离子体增强。这允许在高温下对材料进行高度控制的生长、表征和加工。反应堆还配备了管理气流的自动化设备，确保过程中使用的化学和其他蒸气被安全地控制和降解。除了先进的化学气相沉积工艺外，P5000 MxP+还提供专门的热处理能力。反应室的温度可以由操作员快速调节，也可以通过反应堆的数字控制系统自动调节。温度高达1200 °C, AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP+能够处理各种材料和工艺。这些过程包括局部退火、金属沉积和蚀刻过程。AMAT P5000 MxP+的最终特点是其多轴运动单元。这种运动机器的设计是为了提高样品处理的精度，以及减少室内的热梯度。运动工具利用三个自由度,能够沿着三个轴旋转、倾斜和摆动。这使得样品的放置和操作比其他方式更详细。综上所述，APPLIED MATERIALS P5000 MxP+是一种最先进的陶瓷盘式反应堆，为高温下的材料生长、表征和加工提供了多种高效的工艺。反应堆包括低压化学气相沉积和等离子体增强等专门能力，以及先进的热处理技术和自动气流管理资产。P5000 MxP+还利用多轴运动模型改进样品放置和操作。
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