二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 MxP+ #9160366 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 MxP+
ID: 9160366
(3) Chamber systems.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP+是一种用于大批量制造应用的高级生产反应堆。它具有独特的模块化设计,允许精确、分段地控制温度和其他处理参数,以实现最大的生产输出和过程可预测性。AMAT P5000 MxP+反应器是材料加工的首选工具,用于处理各种基材,包括裸硅和氧化硅涂层硅、蓝宝石和各种玻璃。APPLICED MATERIALS P5000 MxP+是一种多区炉设备,具有为高质量通量和高热容量运行而设计的腔室。它利用三种可独立调节的组合来微调配方和工艺参数,如坡道上升和冷却速度,并且能够在生产运行期间收集实时数据。这允许过程的重复性和重复性,即使在不同的基材之间切换。反应堆配备了广泛的工艺模块,如大气压化学气相沉积(APCVD)和低压化学气相沉积(LPCVD)。这种配置允许沉积过程具有灵活性,从而可以实现各种工艺目标。P5000 MxP+能够处理大至7000个晶片的批量,可在极端压力、温度和真空条件下运行。该系统还提供多种安全功能,如应急电源关闭装置和旨在降低火灾和爆炸风险的降氧元件。它采用了先进的互锁,以防止暴露于可能危险的元素,并且设计用于高通量、可靠的操作,即使在最苛刻的环境中也是如此。其他功能包括自动晶圆处理机、低排放环保设计以及支持多达10套配方。AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP+是一种高级生产反应堆,旨在在大批量制造应用中实现最佳性能。它专为处理各种流程而设计,包括APCVD和LPCVD,并提供精确的温度和过程控制,以确保高质量的过程可重复性和可重复性。该工具结合了安全功能以降低暴露风险,并包括可处理大批量的自动晶圆处理资产。AMAT P5000 MxP+是一种可靠可靠的生产工具,非常适合多种材料处理应用。
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