二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 MxP+ #9202876 待售
网址复制成功！
单击可缩放
AMAT（应用材料）AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP+是为高性能半导体制造工艺而设计的下一代反应堆。它是一种多室、多气体、反应性离子蚀刻（RIE）设备，能够在减少循环时间的情况下处理各种尺寸、形状和材料的基板。AMAT P5000 MxP+能够同时处理多个进程。这是通过一个高效的系统架构及其容纳多达四个工艺室、气体歧管和负载锁的能力来实现的。此外,APPLIED MATERIALS P5000 MxP+还配备了自动晶圆传输单元和机械臂,能够快速传输基板。P5000 MxP+旨在提供对过程参数的精确控制,允许用户制造具有增强的过程鲁棒性的复杂结构。它利用了广泛的蚀刻和沉积过程，如深和浅反应性离子蚀刻（DRIE和SRIE）、化学气相沉积（CVD）、热化学气相沉积（TCVD）、原子层沉积（ALD）和原子层蚀刻（ALE）。这允许为高性能微电子/纳米电子设备定制结构和材料工程。AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP+配备了一系列先进的控制器和监控系统，包括过程控制和状态监控器、气流控制器、安全和腔室监控系统、真空监控器以及自动晶圆完整性监控器。这些功能使操作员能够实时监视和调整流程参数,从而实现最佳的流程控制。此外,AMAT P5000 MxP+的高科技设计提高了机器的整体效率,包括减少了加热和冷却时间、改善了源寿命和工艺一致性。而且，该工具与几个附件兼容，如等离子体传感器、静止和旋转质量流控制器、温度控制装置、压力表、真空系统和温度控制元件。最后,APPLIED MATERIALS P5000 MxP+具有直观的用户界面,可实现快速、轻松的流程设置和编程。对于那些希望在半导体制造过程中采用先进工艺技术的公司来说，这使得资产成为一个理想的选择。
还没有评论