二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 MxP #9218922 待售

AMAT（应用材料）AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP是一种最先进的等离子体反应器，设计用于在一系列半导体、显示器、燃料电池和MEMS应用中提供高端等离子体处理。该反应堆的设计在生产和研究环境中都具有最大的灵活性和吞吐量。AMAT P5000 MxP能够输送由多种工艺气体产生的等离子体，包括氢气、氮气和氧气。它还提供750-1000 °C的最高温度范围,并提供包括脉冲和四区操作在内的温度控制选项。此外，反应堆还配备了一系列诊断和样品处理组件，可用于实时等离子体测量。反应堆具有专有的硬件和软件系统，能够提供高度可靠、可重复的过程。这包括精密沉积和蚀刻处理、快速热处理、快速原型设计以及精密掩模对准和调整。控制体系结构具有原位传感器反馈控制、超高速气体溷合、实时光谱分析等特点。APPLIED MATERIALS P5000 MxP提供了许多自动化的过程功能，包括自动腔室清洗、晶片装卸和多配方执行。该反应堆还为过程监测和结果报告提供了扩展的数据收集能力。此外,该工具的设计具有很高的可重复性,对部件和组件的维护较低,便于维修和减少停机时间。综上所述，P5000 MxP是一种功能强大且用途广泛的反应堆，专为满足最新的等离子体处理需求而设计。它提供了一系列自动化的流程功能以及功能强大的硬件和软件系统,使用户能够在最短的停机时间内实现可重复、可靠的流程。