二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000E Chamber frame #293662777 待售
网址复制成功！
单击可缩放
ID: 293662777
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000E反应堆是一种最先进的薄膜沉积工具，可用于蚀刻、等离子体、沉积和微机电系统等一系列应用。AMAT P5000E反应堆采用双端配置，完全自动化。此设计提供了灵活性,使其能够通过多个流程选项执行各种流程。反应堆的主要部件是电源、电源控制、真空设备、气体输送系统、基板加热、溅射目标。电源能够提供交流或直流电源,并提供有效范围的0-1999V偏置电源。它还有一个自动温度控制装置，用于基板支架。此外，它还包括一个可调气体压力调节装置。应用材料P5000 E的真空机由一个涡轮分子泵组件和一个冷冻泵组成，用于维持加工所需的低真空。气体输送工具包括质量流控制器，这些控制器经过调整以设定供应气体的流量，并且能够输送多达15个单独的气流。此外，它还有一个光学发射器，旨在确保最大的光学效率和薄膜均匀性。AMAT P5000 E反应堆提供了一系列的基板加热能力，包括电阻、高频和热蒸发，使其适合一系列的薄膜沉积程序。溅射目标是可调的，允许沉积层的厚度变化。总体而言，AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 E反应器是一种具有多种特点的先进工具，适用于各种薄膜沉积工艺。其高效率和灵活性以及自动化的流程选项使其成为各种应用程序的理想工具。
还没有评论