二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000E #9093627 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS P5000E
ID: 9093627
晶圆大小: 8"
Poly etcher, 8".
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000E是一种高性能PVD(物理气相沉积)反应器。它非常适合半导体工业使用,因为它是用来处理更高功率、温度和压力水平的。这使得它能够更有效地生产薄膜、表面和材料。AMAT P5000E具有可扩展的模块化设计,易于安装和灵活性。它是高级封装、高导热率、屏障层、互连和其他蚀刻应用的理想选择。应用材料P5000 E有一个环境系统,可以优化底物温度以实现整个腔室的均匀性。它设计有两个匹配的石英天花板和四个电极,以帮助保持均匀的温度和最佳的等离子体分布。它还具有一个石英钟形罐,用于更高效的气体流动和更安全的操作,以及一个可变的旋转速率,以确保薄膜沉积均匀在晶圆的各个部分。此外,APPLICED MATERIALS P5000E的石英钟瓶是可更换的,增加了寿命,降低了维护成本。AMAT P5000 E还配备了射频发生器,允许对过程进行更大的控制,以确保一致性和可重复性。它的功率可针对不同的工艺进行调节,同时提供了Galvanic和DC供电的热电偶技术,以提高精度和可靠性。P5000E具有一个内置的随机存取存储器(RAM),用于存储过程信息和召回,以便于快速诊断设备的状况和参数。为了加强安全,P5000 E还配备了紧急门释放装置,在发生紧急情况时可以解锁门并释放容器压力。AMAT/APPLICED MATERIALS P5000 E还有多个冲洗和排气端口,其耐腐蚀材料和耐用结构使其耐磨损。简而言之,AMAT/APPLIED MATERIALS P5000E是一种用途广泛、耐用的PVD反应器,非常适合半导体工业中各种蚀刻和封装应用。它采用石英钟形罐、射频发生器和热电偶技术等先进部件,设计用于高效、安全的操作。其电源可调设置使其适合一系列流程,内置的RAM允许快速诊断和轻松的流程召回。AMAT P5000E具有耐腐蚀的结构和可调节的旋转速率,可确保良好的薄膜、表面和材料沉积。
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