二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000W #9132649 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000W是一种等离子体蚀刻反应器。它具有在各种工艺材料中蚀刻先进设备特性的能力。AMAT P5000W是一种通用工具,具有惰性装载机/卸载机,可提供广泛的流程灵活性。APPLIED MATERIALS P5000W的设计是为了满足最苛刻的工艺需求而具有成本效益但又持久的工具。它配备了高欧姆、低面积偏置配置，允许精确控制和可重复的工艺性能。加工室有一个可调的平台，可以容纳长度和宽度都达到8英寸的基板。它也有两个包含四个射频、三个微波和二十个网状可用气体的气箱。P5000W支持多达四个独立的蚀刻加工工具,包括单晶片和双晶片应用程序,以及三个源法拉第笼子,用于增强过程控制和热保护。AMAT/APPLIED MATERIALS P5000W反应堆上的工艺室还配备了若干环境和安全特性，以确保质量性能。其中包括一对波纹管密封、压力指示的护环和淋浴墙。它有一个完整的温度控制系统，具有比例-积分-导数（PID）控制环路和用于射频盒和基晶圆的基本安全联锁。它还具有一个用户可设定值的自我测试、自我诊断互锁系统，用于监视压力、温度和等离子体消耗。AMAT P5000W有一个中频电源，可让反应性离子以高精度和可靠性提供。该电源可提供高达25MHz的微波频率和高达2000W的射频功率,并具有可调节的设置,可用于快速蚀刻过程。它还配备了一系列传感器，监测压力、温度和等离子体消耗，以获得最佳性能。应用材料P5000W具有较高的可靠性和性能，是各种蚀刻和沉积工艺的理想选择。此工具旨在满足小型和大型生产运行的要求,最多可运行8个晶圆工艺。它易于维护，为所有类型的蚀刻和沉积过程提供了高效的重复性和准确性。