二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5200 #9231616 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5200是一种用于加工先进材料基板的平行板等离子体反应器。该设备是为在紧密集成的环境中进行高通量操作而设计的，允许以多种配置沉积薄膜。AMAT P5200具有一个工艺室,每个等离子体批次最多可容纳10个底物,允许沉积均匀的薄膜,无论其应用或底物拓扑如何。该室由两块平坦的平行镀金不锈钢板组成，具有低阻力型材和排气口，用于排出任何产生的蒸气。前板由温度控制，具有可密封的开口，用于注入工艺和加工副产物气体。APPLICED MATERIALS P5200具有强大的基板-BIAS-Unit （SBU）,用于在平行板之间创建等离子体护套,该护套使用的是充气和臭氧层气体的溷合物。SBU可以生成平面或场均匀等离子体,具体取决于加工需求和要求。即使使用复杂的3 D拓扑,此偏置电压也能在基板表面实现更高的沉积速率和更大的均匀性。P5200配置有一个大面积过程监测系统（PMS）,可实时监测过程参数,包括偏压、基板温度、颗粒密度等。PMS还有助于进行闭环反馈和过程的调整,并且可以为过程优化提供有价值的数据。该单元还配备了业界领先的EOS-Analysis软件，能够对沉积过程进行严格的模拟，以确定实现预期结果的最佳条件。此软件包包括分别针对各种深度、覆盖范围、厚度和其他关键参数进行建模和调整的功能。AMAT/APPLIED MATERIALS P5200提供了一个高度可靠和可重复的过程,确保了一致的结果并提高了生产效率。该机用户友好，允许快速启动，并随着进一步升级而不断改进。